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1200度小型滑轨式管式炉CVD系统\实验室用炉膛可滑动管式电炉

SGM 小型滑轨式管式炉CVD系统是由洛阳西格马高温电炉生产的CVD系统设备。SGM 小型滑轨式管式炉CVD系统有SGM小型滑轨式管式炉、混气系统、真空系统组成。SGM小型滑轨式管式炉为1200度小型实验炉。
SGM LTF1200度小型滑轨炉(含预热装置) 小巧,升温速度极快,它不仅可以抽真空,也可以通气体保护。其结构使得拆装炉管方便,操作简捷,使用者可直接将密封腔体移出炉体,加快降温过程,透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。

1200℃开启式迷你真空管式炉炉体小巧,升温速度极快,它不仅可以抽真空,也可以通气体保护。其结构使得拆装炉管方便,操作简捷,使用者可直接将密封腔体移出炉体,加快降温过程,透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。炉管工件横穿与电阻丝的炉膛,温场均匀,内外温差可控制在正负3度,滑轨炉设计可是样品快速升温或降温。预热的装置可以很好控制固态源的蒸发,可用于二维材料的制备等,是一款性价比极高的快速升降温炉。

小型滑轨式管式炉CVD系统技术参数:

名称

规格

小型滑轨式管式炉CVD系统

 

 

 

 

开启式真空管式滑轨炉 

炉管尺寸

Φ50×1200mm
(更多其他规格石英管可选Φ25/60mm等)

主要参数

额定温度: 1200℃(使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)

 工作温度: ≤1100℃

 推荐升温速率:≤20℃/min

 加热区长度:230mm

 额定功率:2KW

 电压:单相AC 208 - 240V, 50Hz

炉体结构

双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C

高纯状氧化铝纤维绝缘层,额定限度节约能源

炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命

温控系统

模糊PID控制和自整定调节功能

 智能化30段可编程控制

 具有超温及断偶报警功能

 控温精度: ±1 ℃

 K型热电偶

 可安装PC控制软件对数据进行实时采集(需另购)

 

温控仪表(可选)

标配仪表品牌为宇电,可指定其他品牌温控仪表,如岛电等。

管堵

多种规格管堵,防止来自内部管子的热辐射,管堵在加热前必须完全放入炉腔。石英管堵满足洁净实验环境或者较高真空需求

密封系统

炉管两端配有不锈钢密封法兰。(包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头)

 如需获得较高的真空度,建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计(需另外订购)

备注:本公司标配法规格如下进气端Φ6卡套接口,可连接Φ6不锈管或者聚四氟管。

出气端预留KF25接口,方便连接真空泵,KF16接口,方便连接数显真空计,以及Φ9气嘴接头,以便出气

扩展端口

 如进气管道为橡胶软管,则需将进气口更换成Φ9气嘴接头

真空度

双极旋片机械泵:10^-1Pa

 分子泵机组:10^-3 Pa

可选配本公司配套高低真空

 

外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

净重

40Kg

2路质量流量控制系统

MFC-2Z

电压

 220VAC  单相  50/60Hz

针阀材质

 316不锈钢

量程

100sccm、200sccm(可根据工艺要求提供多种量程选择)

工作温度

 5~45℃

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 750(H) mm

电压

 AC220V/50Hz单相

功率

 23W

真空系统

LVU-10

壳体尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

额定承载量

1000 Lbs 

抽气速率

10m³/h

极限真空度:10-1Pa

双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接

质保期

一年保修,终身技术支持。

 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

相关应用

炉膛内衬可以单更换(额外付费)

 可以根据要求设计成带有滑动法兰的炉子

应用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全

 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 石英管的长时间使用温度<1100℃

 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

 


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