高温炉在使用过程中，根据工艺需要会通入保护气体，那么这些气体会对硅碳棒参数怎样的影响呢？

水蒸气氧气是否对硅碳棒的生产使用有影响？

水蒸气的影响：水蒸气（H2O）在1100℃时与SiC发生强烈化学反应，生成Si、SiO2和C。硅碳棒表面出现裂纹，电阻增长速度很快。

高温下，微量的水蒸汽会对硅碳棒产生明显的氧化作用，反应方程式如下：  

SiC+4H2O→SiO2+CO2+4H。  

所产生的氢气也会侵蚀硅碳棒，严重的情况会使棒发热体龟裂、膨松，缩短棒的寿命。因此有水蒸汽产生的炉膛要求预留排气口，特别是新炉烤窑一定要特别注意。  

二氧化硫（SO2）的影响：SO2在1300℃与SiC反应，故使用温度应控制在1300℃以下。

氮气（N2）的影响：当硅碳棒表面温度达到1400℃时，N2就与SiC发生反应，生成氮化硅，使硅碳棒的电阻值显著增长。

干燥空气的影响：硅碳棒能在高温（1600℃）、干燥的空气中长期使用，电阻缓慢增加。氧气（O2）与SiC在高温时发生反应，生成二氧化硅（SiO2）。由于硅碳棒表面形成了一层SiO2保护膜，因此硅碳棒具有很强的抗氧化性。

氢气（H2）的影响：在1250℃时，H2与SiC发生反应，生成甲烷（CH4）,破坏SiC发热体。

氯气（Cl2）的影响：Cl2在600℃时就会与SiC发生反应，在1200℃时，Cl2会把硅碳棒完全分解。

氨气（NH3）的影响：NH3在高温时可分解成成N2和H2。故使用温度应控制在1250℃以下。

一、水蒸气和湿气
影响：会比在干燥大气中的使用寿命缩短1/5，要怎么解决这个问题呢?
解决方法：.好的方法就是新炉子试运行或者旧炉子长时间不工作再使用时，要先低温充分干燥后再升温。

二、氢气H2
影响：硅碳棒温度上升到1350℃以后电阻急速增加，机械强度也下降。而且根据气体干湿的不同寿命也差别很大。
解决方法：建议在炉内温度为1300℃以下的状态下使用。表面负荷尽量小(5W/cm2)。

三、氮气
影响：当温度超过1400℃时氮气与碳化硅反应生成氮化硅，使硅碳棒变脆，寿命缩短。受露点的影响与氢气的状况相同
解决方法：建议在炉内温度为1300℃以下的状态下使用。表面负荷尽量小(5W/cm2)。

四、硫(S、SO2)
影响：硅碳棒温度升到1300℃以后，硅碳棒表面被侵蚀、电阻急剧增加，从而大大的影响加热效率。
氮气温度超过1400℃时氮气与碳化硅反应生成氮化硅，使硅碳棒变脆，寿命缩短。受露点的影响与氢气的状况相同建议在真空气氛炉温度为1300℃以下的状态下使用。表面负荷尽量小(5W/cm2)。

五、N涂层氨气(H275%)、(N225%)与氢气、氮气的状况相同。

解决方法：建议在真空气氛炉温度为1300℃以下的状态下使用。表面负荷尽量小。

六、其他气氛气体：

N涂层分解反应气体(N2、CO、CO2、H2、CH2混合物)加热过程中硅碳棒表面附着分解后的碳黑，造成棒体疏松。

经常向真空气氛炉输送空气，让多余的碳燃烧。在真空气氛炉构造方面，保持硅碳棒间足够的间隔以防止短路。

N涂层硫(S、SO2)硅碳棒温度升到1300℃以后，硅碳棒表面被侵蚀、电阻急剧增加。

N涂层其他由被处理物产生的各种物质，如铅、锑、碱金属的化合物与硅碳棒反应，使其寿命缩短。