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双温区滑轨管式炉

管式炉主要通过程序自动精度控温来实现CVD、PVD和退火处理等实验手段,并且可以通过滑轨实现快速降温。炉子的底部安装有一对滑轨,可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧,以实现快速加热和快速冷却。想实现快速地加热,可将加热炉预热至所需温度,把炉体滑动至样品位置。 想实现快速的冷却,可在样品处加热完成后将炉体滑到另一侧。

双温区滑轨炉规格参数:

配置:
双温区滑轨管式炉一套(带三路流量控制系统一套氮气500sccm,氩气500sccm,氢气50sccm),KF25抽气口真空泵一套,法兰改装(两端全部改装,每端三个出气口其中包括KF25抽气接口,1/4,接口出气口,以及真空压力表出气口和宝塔抽气接口)

1、壳体结构:双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面的温度小于60度;炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,减少热量的损失;内炉膛表面涂有美国1750度高温氧化铝涂层可以提高反射率及设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

2、功率:2.5KW 

3、电压:AC 220V  50Hz/60Hz

4、工作温度:额定1200℃(<1h),连续工作1100℃

5、升降温速率:20℃/min

6、控温精度:±1℃

7、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

8、漏气率:<5mtorr/min

9、升温速率:  ≤10℃/min 

10、炉管尺寸和法兰:纯度99.8% 的高纯石英管;包括不锈钢真空密封法兰,针阀,和压力表

11、扩展接口:标配KF25 adapter转接头;标配VCR双卡套接头,炉子两端装有法兰支架支架长度根据炉管尺寸定做!(非标定制)

12、温控系统:PID智能化温度控制器,可以设置30段升降温程序;每个温区可以立的设置,带有过热和断偶保护

13、控制方法:PID自动控制

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