颗粒悬浮立式管式炉又称流化床立式管式炉，流化床立式管式炉专门针对粉末表面沉积的CVD实验，炉管为高纯石英管，炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔径为5-15um，石英板的孔径可单定制。粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验。炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。

颗粒悬浮立式管式炉主要用途：

流化床立式管式炉是门针对粉末表面沉积的CVD实验。反应气体和均匀地通过反应区固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等

颗粒悬浮立式管式炉特点：

1、反应气体和均匀地通过反应区

2、固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内

3、炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。

注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等

立式高温管式炉结构特点;

1、炉膛材料采用质的多晶莫来纤维真空吸附制成，节能50%，温场均匀。电热元件采用表面温度1700度的质硅钼棒和1500度的质硅碳棒

2、密封法兰采用双环密封技术，有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。

3、两端气路支架，支撑着气路装置。有效消除了气路自身的重力，杜绝了因自身重力而造成的炉管损坏。真空气氛管炉    旋转电炉   立式管炉     快速退火炉 马佛炉

4、先进的空气隔热技术，结合热感应技术，当炉体表面温升到达50℃时，排温风扇将自动启动，使炉体表面快速降温。

5、超温保护功能，当温度超过允许设定值后，自动断电及报警。

6、漏电保护功能，当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。

7、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、模糊控制、自整定功能，并可编制各种升降温程序。真空气氛管炉    旋转电炉   立式管炉     快速退火炉 马佛炉

8、国产程序控温系统可编辑50段程序控温，程序控温系统可编程32段程序控温。

9、电炉内配置有485转换接口，可实现与计算机相互连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。

颗粒悬浮立式管式炉主要技术参数：