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1200度滑道式PECVD系统设备

滑道式PECVD系统设备系统简介

西格马PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, PECVD系统广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)等。

滑道式PECVD系统设备由1200度滑动式管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源组成。滑动式管式炉的炉体可以沿底部轨道左右获得,了实现快速降温。

滑道式PECVD系统设备功能特点

1、滑道式管式炉的加热元件采用掺钼合金加热丝,系统组成。炉膛保温材料采用多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显于国内纤维材料。

2、整个CVD涂层化学气相沉积的炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1200℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。

3、炉膛采用节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保。

4、炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了。

5、超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠具有多重防护功能。

滑道式PECVD系统设备结构

设备名称

等离子气相沉积PECVD系统

管式炉部分

加热区长度

300mm/440mm/600mm/1200mm(可选)

加热区段数

单温区/双温区/三温区/四温区/五温区/多温区/(可选)

炉管直径

直径60mm/80mm/100mm/120mm/125mm/230mm(可选)

工作温度

≦1100℃

额定温度

1200℃

测温元件

K型热电偶

温控系统

30段PID微电脑可编程自动控制

保温温控精度

±1℃

温控保护

具有超温和断偶保护功能

升温速率

0-20?C/min

加热元件

高电阻电热合金丝OCr27A17Mo

工作电压

AC 220V 单相 50HZ 

炉膛材料

采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好

炉  管

高纯石英管

炉壳温度

≤45℃

   真空系统部分

名称

旋片泵/扩散泵组/分子泵组(可选)

主要参数

真空泵真空度6.67*10-3Pa(包含KF25接口和可移动箱体)

真空显示

四川成都睿宝数显真空计,实时显示真空度

真空显示量程

其测量范围为1×105--1×10-5pa

气路系统部分

名称

质量流量计

气路

2路/3路/4路/5路/6路多路(可选)

流量控制

液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体含有针阀单控制

链接方式

双卡套接头

流量计

质子流量计

流量范围

MFC范围:  0~500 sccm(可选)

控制精度

±1.5%F.S左右,量程不同,略有差别

工作环境温度

5℃-45℃

等离子射频器部分

名称

射频自动匹配器

型号

VERG-500+VENA-500

匹配功率范围

0-500W

工作频率

13.56MHZ+0.005%

正常工作反射功率

<3W

匹配时间

<3S

传输效率

>90%

匹配器电源

AC220V/50-60HZ

输入连接器

N型

输出连接器

UHF

控制模式

手动/自动

可设预置点数

7

匹配阻抗范围

实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗)

匹配器尺寸

340X230X130 MM

提供相关配件

气路一套,数显真空计1个,真空泵一台、炉堵2对,高密封法兰1对,石英管1根,密封圈4对,高温手套1对,坩埚钩1把,真空泵连接管件1套,拆卸法兰六角扳手1把,保修卡说明书1份等

电气认证

欧盟CE认证  IS90001质量体系认证

售后保障

12个月(易损件除外)


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