1200度四路混气高温真空CVD设备

1200度四路混气高温真空CVD设备由1200度三温区滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成，温度可以达到1200度，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计，可以对多种气体进行精度的混气，然后导入到管式炉内部。

1200度快速退火炉炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率额定可达100°C/m。为取得设计快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得设计快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的不错炉子。

四路混气高温真空CVD设备应用范围：

1200度四路混气高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的高温设备。

四路混气高温真空CVD设备规格参数：

设备名称	1200度四路混气高温真空CVD设备
额定温度	1200°C
长期工作温度	1100°C
加热速率	建议：0- 10°C/min （额定：0-20℃/min）
加热区	三温区
加热区长度	200+350+200mm
控温精度	±1°C
炉管直径	OD60mm
炉管长度	大约1200mm-1400mm
真空法兰	两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装数字式真空显示计，和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr，泄漏率额定6 mtorr/min
温控	智能PID多段程序控温
加热曲线	30段可编程
功率	4KW
电压	220V，50HZ，单相
质子流量计	4路浮子流量计： MFC 1范围: 0~100 sccm MFC 2范围: 0~200 sccm MFC 3范围: 0~200 sccm MFC 4范围: 0~500 sccm 气路:4路流量精度: 0.2% 进气和出气接口: 1/4" 卡套一个混气罐。每路气路都有一个立的不锈钢针阀控制。通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。