1200℃三温区真空管式炉CVD系统|1200度CVD系统设备

SGM1200℃三温区真空管式炉CVD系统是由洛阳西格马高温电炉研发生产的实验室用高温管式炉，三温区真空管式炉CVD系统具有三个温区，可以立控温，炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料，采用电阻丝为加热元件。加热元件与炉管平行，均匀地分布在炉管外，有效的保证了温场的均匀性。测温采用性能稳定、长寿命的“K”型热电偶，直接和式样接触，以提高控温的精度性。真空管式炉能够快速开启，快速升降温，方便客户对特殊材料的装载，烧制和观察。炉体的控制面板配有智能温度调节仪，控制电源开关、主加热工作/停止按钮，工作状态指示灯，以便随时观察本系统的工作状态。
作为专业的1200℃三温区真空管式炉CVD系统|1200度CVD系统设备厂家，洛阳

三温区真空管式炉CVD系统主要用途：

三温区真空管式炉CVD是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错产品. ，广泛用于电子陶瓷产品的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积（CVD）工艺等。

三温区真空管式炉CVD系统技术参数：

电炉名称	规格	三温区真空管式炉CVD系统
三温区真空回转炉	炉管尺寸	炉管材质：310S 尺寸：Φ245210750mm
	主要参数	额定温度: 1200℃(使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变) 工作温度: 900℃（配套金属管为310S才是）推荐升温速率:≤10℃/min 加热区长度: 750mm 额定功率：7KW 电压：单相AC 208 - 240V, 50Hz
	炉体结构	采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于60度保温材料采用高纯氧化铝纤维，可以环保节能，减少热量的损失内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命三个温区，可以立控温真空机组和气体流量供气系统位于移动加上，方便移动.
	温控系统	模糊PID控制和自整定调节功能智能化30段可编程控制具有超温及断偶报警功能控温精度: ±1 ℃ K型热电偶可安装PC控制软件对数据进行实时采集（需另购）
	温控仪表（可选）	标配仪表品牌为宇电，可指定其他品牌温控仪表，如岛电等。
	管堵	多种规格管堵，防止来自内部管子的热辐射，管堵在加热前必须完全放入炉腔。石英管堵满足洁净实验环境或者较高真空需求
	密封系统	该设备炉管为单端封口设计，法兰安装于一端，侧开门式设计。（包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头）如需获得较高的真空度，建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计（需另外订购）出气端配备磁流体密封装置，容许设备在连续真空条件下工作。备注：本公司标配法规格如下进气端Φ6卡套接口，可连接Φ6不锈管或者聚四氟管。出气端预留KF25接口，方便连接真空泵，KF16接口，方便连接数显真空计，以及Φ9气嘴接头，以便出气
	扩展端口	如进气管道为橡胶软管，则需将进气口更换成Φ9气嘴接头
	真空度	双极旋片机械泵：10^-1Pa 分子泵机组：10^-3 Pa 可选配本公司配套高低真空
	外形尺寸	650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)
	净重	40Kg
真空系统 LVU-10	壳体尺寸	600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm
	额定承载量	1000 Lbs
	抽气速率	10m³/h 极限真空度：10-1Pa 双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接
质保期		一年保修，终身技术支持。特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
相关应用		炉膛内衬可以单更换（额外付费）可以根据要求设计成带有滑动法兰的炉子
应用注意事项		炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）