滑轨管式炉是为生长石墨烯研制的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，炉体采SGM G1200-SL开启式管式炉，炉底安装有直线滑轨，当生长结束后，炉体可自动左右移动，能够保证有足够的空间使实验样品移出炉体，实现快速降温的要求。

SGM炉膛可根据工艺进行左右自动移动，SGM炉膛滑轨式管式炉可随时改变温场和快速降温。炉膛滑轨式管式炉：炉膛可以根据设定要求实现自动左右移动，而且移动速度可人工调节。炉膛在一侧升温至设定的温度后直接移动到另一侧样品加热区实现快速升温，速度可达140℃/min，在烧结完毕后炉膛移开样品加热区实现快速降温，300℃~1200℃可达200～50℃/min降温速率。炉膛自动地左右移动，来完成材料的快速升降温试验！

洛阳西格马可生产1200度双温区轨道式管式炉、三温区轨道式管式炉、多温区轨道式管式炉、1200℃开启式滑轨管式炉、小型滑轨式管式炉、水平管式炉、立式(竖式)管式炉、多工位管式炉、倾斜管式炉、 旋转管式炉、滑轨管式炉。

滑轨管式炉主要应用：

滑轨管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过左右移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。石英管作为炉膛，无污染，抗急冷急热性能好。设备外形精巧美观，周边拓展性好，适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

滑轨管式炉结构特点：

1、炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，高效节能。

2、加热元件采用质合金丝0Cr27Al7Mo2，经久耐用,额定温度可达1200℃。

3、采用双层壳体结构，结合热感应技术，配有风冷系统，使炉体表面温度快速降温。

4、可选用KF快速法兰连接，减少了加热管损坏的可能，取、放物料更加方便快捷。

5、炉体可左右移动，可实现迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验要求；

6、智能PID高精度控制，自整定功能，30段可编程控制，可设置30段升降温程序,实现了功率无损耗。

7、预留真空、气路快速接口，可配合真空、混气系统使用；满足用户在不同的真空状态及不同的气氛条件下进行实验。

8、预留485转换接口，通过专用软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能；

9、具有开启断电，超温报警，漏电保护等安全操作功能。

滑轨管式炉技术参数：