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1200度三温区CVD管式炉系统|1200度CVD管式炉1200度CVD管式炉
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1200度三温区CVD管式炉系统|1200度CVD管式炉

  • 厂家:
  • 别称:1200度CVD管式炉
  • 温度:℃
  • 规格:
  • 类型:高温管式炉
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  • 厂家电话:高温电炉
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    1200度三温区CVD管式炉介绍:

    SGM1200度三温区CVD管式炉由SGM 1200度管式炉+真空系统+供气系统组成 ,温度可以达到1200度。管式可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

    1200度管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和日本岛电或宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等点。

    1200度三温区CVD管式炉应用范围:

    1200度三温区CVD管式炉是一种特殊的CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错产品。

    1200度三温区CVD管式炉主要技术参数:

    CVD管式炉 1200度管式炉+真空系统+供气系统
    高温炉壳体 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃,内炉膛表面涂有1750℃氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 
    加热元件 掺钼铁鉻铝合金
    额定温度 1200℃
    连续工作温度 1100℃
    升温速率 <= 20 ℃
    炉管材质和尺寸 石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 
    加热区长度 三温区:200+200+200 mm
    恒温区长度 350  (+/-1 ℃) 
    控温系统 PID30段程序化控温
    控温精度 ±1 ℃
    真空密封系统 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),额定漏气率6 mtorr/min
    真空泵 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的设计小微粒直径为0.3微米。
    数字式真空显示计   数显真空计,已安装在不锈钢法兰上 
    混气系统 三个质量流量计
    三路质量量程分别为
    10-100 cc/min.
    16-160 cc/min.
    25-250 cc/min
    内部安装有一混气罐 
    功率 2.5 KW
    电压 AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 
    售后服务 质保一年,终身保修



    1200度CVD管式炉可选配件:

    质量混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份

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