800度管式升华炉

管式升华炉炉膛具有三个独立单元，均可独立控温，控温系统选用10英寸工控触摸屏，可设置5个控温段落，升温降温均可设置程序控制，控温精度±1℃，数据实时显示和记录，并能通过U盘导出csv表格形式。可提前在触摸屏系统内设定好温度曲线、衬底移动的条件和时间、炉膛打开散热的条件等整个工艺流程参数，装好样品后，关上法兰。通过一键操作，设备可自动完成三个温区的加热和样品移动等所有功能。进气阀和流量的控制、真空泵和真空度的控制均可在触摸屏上直接操作，触摸屏界面模拟显示动作过程。亦可实现半自动功能，由人工分步骤操作设备自动运行。

电炉特点

自动控制流程

可提前在触摸屏系统内设定好整个工艺流程参数，通过一键操作，设备可自动完成三个温区的加热和样品移动等所有功能

智能控温系统

控温系统选用10英寸工控触摸屏，可设置5个控温段落，升温降温均可设置程序控制，控温精度±1℃

风冷散热系统

加热结束后炉膛均可通过按钮控制前后自动分开成两半，管子暴露在室温环境下，底部风扇强制风冷对其散热

超温报警功能

具有自动连续PID调节、超温报警、断偶指示等功能

数据可存储导出

数据实时显示和记录，并能通过U盘导出csv表格形式，数据可存储三个月

可抽真空通气氛

抽真空度大气到≤5Pa小于5min，设定真空度自动保持，可通多种气氛

技术参数

电炉名称	管式升华炉
加热炉部分
炉膛模式	前后移动开启式炉膛（三个工艺炉膛）
显示模式	10英寸触摸屏
加热元件	合金电炉丝或碘钨灯管
工作温度	≤800℃
升温速率	5～10℃/s
衬底移动	有，速度可调
温区长度	200mm（恒温区100*100mm）
温度均匀性	≤±2℃
工艺位温降	≤5℃
快速降温	≥1℃/S
炉管规格	Φ150*1400mm
控温精度	±1℃
密封方式	快速法兰密封
仪表补偿	室温自动补偿
温度曲线	5段@quot;时间—温度曲线@quot;任意可设
外壳温度	≤50℃（室温≤25℃）
超温报警	有
过流保护	有
断偶提示	有
测温元件	K型铠装热电偶
炉膛材料	氧化铝纤维
外形尺寸	30508301300mm
整机功率	共计48KW；
电源参数	380V 50Hz
传动机构
样品移动	伺服电机驱动推杆带动衬底移动
运行轨道	石英管内设计有双层轨道
推杆移动速度	可调
导轨水平度	≤1mm/m
推杆定位误差	≤1mm
防撞措施	超力矩自动急停，脱钩
蒸发距离	衬底下平面和源上平面间距最小2mm,且可根据需要调节
速度误差	≤0.5%
真空与气氛
抽真空能力	大气到≤5Pa小于5min，设定真空度自动保持
气压范围	10-3Pa～105Pa，机械泵极限≤5Pa
泄漏率	≤5-4（Pa*m3/s）
真空计范围	大气到10-5Pa，最大分辨率0.01Pa
气路系统	3路进气 2L不锈钢混合罐（带指针式压力表）质量流量计每路量程500sccm－1000sccm,流量计灵敏度1sccm超压保护（≥1atm），根据设定压力值自动排气
控制系统
半自动运行	手动按钮，电动运行
全自动运行	显示整个工艺流程且一键操作
温度数据存储	可存储大于3个月的数据
数据导出	U盘导出csv格式数据
工艺曲线	设备端触摸屏显示实时曲线并记录