多路浮子流量计供气系统

PECVD系统的中文名是等离子增强化学气相沉积系统。多路浮子流量计或质子供气系统是PECVD系统应用中不可缺少的配套设备。

多路浮子流量计供气系统介绍：

1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过锚点质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘锚点与质子流量计安装在同一面板上。

3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

多路浮子流量计供气系统技术参数：

气路通道：2、3、4、5（可选配）

气路流量控制：浮子流量控制器。

接口：Φ6

显示：刻度

工作环境温度:5~45℃

流量控制器：浮子流量计

10-100ml/min2ml/格

四氟管：Φ6外XΦ4内

压力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格

截止阀：Φ6

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