产品详情

1200度石英管管式炉采是由洛阳西格马高温电炉生产的管式电阻炉，1200度石英管管式炉采用石英炉管，管径20~300mm可按需定制。双O圈密封结构搭配不同的真空机组获得的10Pa~10^(-4)Pa真空度。搭配不同的法兰总成可增强其扩展性。也可以用于搭建CVD和PECVD系统。

使用温度范围：300～1200℃    温度控制精度：±1℃      管径：φ25~φ100

主要用途：

高温管式炉提供具有真空、可控气氛及高温的实验环境，应用在半导体、纳米技术、等纤维等领域；可扩展性强，搭配不同的接口和真空系统及其他附件可组成不同用途的实验平台，既是基础组件也是核心组件。

管式炉主要特点：

双层钣金间的排温风扇能有效有效保护炉体表面温升低于50℃；

炉盖开启自动断电、超温保护功能、漏电保护功能，以确保使用的安全性

程序控温系统，可规划多条曲线，可编程30段程序控温

电路采用连续加热输出方式，双回路供电，强弱电单走线提高了系统的稳定性

加热模块采用直流信号调节输出功率，避免了感应电对控制信号的干扰

操作按键选用低压金属按钮，自带状态指示灯，操作安全直观

安全性：过升报警、菜单锁定、过升防止、复电延时。

管式炉主要技术参数：

服务与支持

售前咨询

1、按客户技术要求为您提供选型服务；

2、按客户实验目的提供推荐服务；

3、客户无法提供需求时，可为客户提供预约实验服务（点此了解），先试验后购买。

售中服务

1、为客户提供实时生产进度汇报服务；

2、发货追踪服务；

3、建立设备档案生成的可溯源身份编号，记录其生产工艺，用料，配件等信息。

售后服务

1、安装和操作指导；

2、可选购的上门服务；

3、配件供应服务（点此查看）。

质保服务

电炉保修一年，并提供终身技术支持和维护服务；

特别提示：

1、加热元件不在保修范围内（点此了解各种炉膛加热元件的更换特点）。

2、石英配件，样品坩埚等易损件不在保修范围内；

3、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

管式炉注意事项

1、炉管内气压不可高于0.02MPa；

2、使用气瓶向炉管内通入气体时，为了确保安全，气瓶上必须安装减压阀，建议使用压力低于0.02MPa；

3、炉管为石英管时，炉内温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压应和大气压相当；

4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击；

5、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。