1200度五温区回转CVD设备\五温区回转炉CVD系统

回转CVD设备特点：

1、回转CVD设备提供一个五温区的超长温场，五个温区可立控制（可选双温区、三温区）

2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理，上下可电动开启。

3、流量计和加热采用模块化设计，便于维护保养。

4、加热元件采用康泰尔掺钼合金电阻丝，使用温度可以达到1200度，使用寿命长，温场流场均匀。

5、采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持。

6、设备集成化设计、以及集成化管理，美观方便。

回转CVD设备组成：

加热系统，炉管转动系统，螺旋送料系统、供气系统、真空系统、温控及操作系统。

1、加热系统：

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了加热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID参数，无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，适合中低温度加热系统。

高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。

2、炉管转动系统：

炉管转动系统可以让炉管360度匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。

3、螺旋送料器：

先将样品储存于样品罐中，通过螺旋送料器将样品送入石英管内。样品送完之后送料杆退回到原始位置。周而复始，达到自动送料。

4、供气系统：

供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成，触摸屏控制。

5、真空系统：

真空机组，内部安装BSV-60机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。