多路质量流量计混气控制系统：5路质子供气系统
5路质子供气系统是由洛阳西格马高温电炉生产的一款多路质量流量计混气控制系统，5路质子供气系统是一种可控制五种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计和混气罐都安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。移动柜额定可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一7"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。5路质子供气系统广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
3路质子供气系统参数：
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配置组件 |
技术参数 |
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质量流量控制器 |
工作电压： |
185~245V 50HZ |
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额定输出功率： |
18W |
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流量计标准量程： |
50sccm，100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选） |
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工作温度： |
5~45℃ |
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工作压差： |
0.1~0.5MPa |
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额定压力： |
3MPa |
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准确度： |
±1.5% FS |
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机械压力表 |
测量范围： |
-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
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针阀 |
316不锈钢 |
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混气罐 |
Φ80×120mm |
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截止阀 |
Φ6mm”316不锈钢针阀 |
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尺寸 |
600×750×700 mm |
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其它常规质子混气系统：
| 名称 | 西格马多通道质子流量计控制系统 | |||
| 气路数 | 双通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
| 质子流量控制器 |
工作温度：5~45℃ 额定压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：1~199 SCCM 二路：1~499 SCCM |
工作温度：5~45℃ 额定压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM |
工作温度：5~45℃ 额定压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM |
工作温度：5~45℃ 额定压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：0~50 SCCM 二路：1~100 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~199 SCCM 五路：1~499 SCCM |
| 定制 | 可定制其他流量范围与气炉数 | |||
| 输入电源 | AC 220V/50Hz 单相 | |||
| 功率 | 23W | |||
| PLC触摸屏 |
各通道的气路设定和查看都集中在—6”的触摸屏上。 RS485通讯接口和PC控温软件可连接到电脑上，进行远程控制。 |
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| 机械压力表 |
有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接。 量程：0.1~0.15MPa（0.01MPa/grid） |
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| 针阀 | 316不锈钢 | |||
| 通气管道 |
内部连接管道为1/4”不锈钢管。 外部通气管道为1/4”聚四氟管。 |
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| 混气罐 | Φ80×120 mm | |||
| 截止阀及配件 |
316不锈钢针阀。 Φ1/4”不锈钢管 |
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| 外形尺寸 | 600L×750W×700H mm | |||
| 可认证 | CE认证 | |||
| 质保期 | 一年质保期，终身维护。 | |||
| 相关产品 | CVD&PECVD 管式炉 | |||
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