产品详情

1200度三温区CVD管式炉介绍：

SGM1200度三温区CVD管式炉由SGM 1200度管式炉+真空系统+供气系统组成 ，温度可以达到1200度。管式可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

1200度管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和日本岛电或宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等点。

1200度三温区CVD管式炉应用范围：

1200度三温区CVD管式炉是一种特殊的CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错产品。

1200度三温区CVD管式炉主要技术参数：

1200度CVD管式炉可选配件：

质量混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份