CVD系统混气系统：多路质子供气系统设备

CVD系统搭建
CVD系统是有管式炉、真空抽气系统、多路供气系统（或者液态蒸发系统）组成。多路供气系统分为多路质子流量计控制供气系统、多路浮子流量计控制供气系统。

管式炉可选择单温区管式炉、双温区管式炉、三温区管式炉。
 

什么是质子流量计控制供气系统？

质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量，还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。

质量流量计配气系统

质子混气/配气系统是利用质量流量计对气体流量进行控制，通过高性能气体混合器，确保气体混合均匀，通过触摸屏或仪表界面可针对每一路气体的流量进行调节和控制，实现不同比例配气。 

多路质子供气系统可将多种气体按一定比例均匀混合后通入到管式炉中。一般是1-4通道混气供气。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内，而且移动柜顶部可以放置管式炉。

用途范围：

多路质子供气系统设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。

主要功能 

    1、控制1路或多路气体流量 

    2、控制1路或多路液体流量，并控制液体气化 

    3、实现多路气体均匀混合 

    4、液体汽化，气汽混合内置 

    5、汽化温度控制内置，混合伴热温度内置 

    6、混合后管路伴热控制



作为专业的CVD系统设备生产厂家，洛阳西格马可生产

西格马SGM多路质子流量计控制供气系统多路质子流量计控制供气系统、多路浮子流量计控制供气系统。

系统应用：

SGM 多路质子流量计控制供气系统是实现多种气体不同流量混合配比的供气系统

设备组成：多路进气管路、质子流量计、混气罐、出气管路组成

产品特点：

1、 几路进气客户自由定制，标准接口，方便连接

2、 液晶触摸屏控制输入每路气体流量，实时查看各路气体流量曲线

3、 每条气路均设置高压截止阀，方便切断气路

技术参数：

1、 气体通路：X条客户自由定制

2、 气体类型：客户自由选择

3、 流量计量程：5—500SCCM；1—10SLM自由选择

4、 工作电压：220v/50Hz

5、 工作压差：0.1-0.5MPa

6、 额定压力：3MPa

7、 准确度：±1.0%F.S

8、 质子流量计相应时间：＜1S

9、 测量范围：0.1-0.15MPa

10、混气罐：304不锈钢

11、 进出气接口：直径6mm不锈钢卡套接口

12、管道：内部管道采用直径6mm不锈钢管；外部管采用6mm聚四氟管

13、控制系统：PLC控制系统，液晶触摸屏输入，每路气路立控制