混合气体配比器:多路浮子气体混气系统
- 品牌：SGM
- 类型：高温电炉系列
- 温度：
- 规格：φ50，60，80，100
产品详情
多路浮子气体混气系统这种气路控制系统适用于控制一种到多种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合恒通的管式炉，它可以用于CVD或PECVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 该气体配比器可以外接多种气体,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.多路浮子气体流量计接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
多路浮子气体混气系统应用范围：
1、用于半导体制造行业中气体流量控制
2、用于各种真空镀膜设备
3、用于材料表面处理
4、用于气体燃烧控制
5、用于混和配气系统
6、用于泄漏探测系统
7、用于环境检测与分析设备
8、用于分析仪器的气体流量计量与控制
9、用于化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
多路浮子气体混气系统主要参数：
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产品名称 |
三路浮子气体流量计 |
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产品型号 |
SGM-3F |
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流量计类型 |
浮子流量计 |
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流量计管芯 |
304不锈钢 |
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管道常态 |
常闭 |
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流量计外壳 |
有机玻璃 |
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气体种类 |
3种 |
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接口尺寸 |
1/4" |
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压力范围 |
-0.1-0.15 MPa |
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A路气体测量范围 |
0～100ml |
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B路气体测量范围 |
16～160ml |
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C路气体测量范围 |
25～250ml |
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流量控制范围 |
2%～100% |
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工作环境温度 |
(15～50℃) |
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精度保证温度 |
(15～35℃) |
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外形尺寸 |
L700×W600×H580 |
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设备重量 |
30kg |
TAG:多路浮子气体混气系统
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