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1700℃单温区三通道混气CVD系统是一款CE认证的管式炉CVD系统，其真空泵采用双旋片式，混气系统采用三路浮子供气系统，额定温度可以达到1700°C，真空度可达到5x10-2 torr ，可以混合1-3种气体。

1700℃单温区三通道混气CVD系统应用范围：

1700℃单温区三通道混气CVD系统主要用于真空烧结、气氛保护性烧结、真空镀膜 各种材料煅烧、需要温度梯度的各种CVD实验。

1700℃单温区三通道混气CVD系统结构特点：

CVD 管式炉采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝纤维材料，能使样品加热到1700℃ 。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25 接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头，使得炉体可与混气系统相连接。精度的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温精度度为+/- 1  ℃   。

1700℃单温区三通道混气CVD系统技术参数：

电炉名称	1700℃单温区三通道混气CVD系统
管式炉结构	采用双层壳体结构，并带有分冷，使得壳体表面的温度小于55°C. 保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能，减少热量的损失 内炉膛表面涂有质高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
加热元件	1800 grade MoSi2 ( 8根)
额定工作温度	1700℃
额定升温速率	5℃/min
额定降温速率	5℃/min
加热区长度	455mm (18")
恒温区长度	150(+/-1℃)  注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。
温控系统	一个精密温度控制器 PID方式控制，通过可控硅 SCR 可设置30段升降温程序 控温仪表操作视频 带有过热和断偶保护
控温精度	+/-1℃
炉管材质和尺寸	99.8% 高纯氧化铝 Al2O3 陶瓷管 （标配）OD: 60 mm：ID: 52mm x1000 mm length （选配）OD: 80 mm：ID: 72mm x1000 mm length
密封法兰	两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装机械压力表（图片中的蓝表为选配）和阀门 通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr 泄漏率额定6 mtorr/min
输入电源	AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：额定5KW
真空泵和配件	真空泵	一个双旋片式机械泵安装在移动架内 通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr
	配件	标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口，两个不锈钢针阀， 1/4"的软管接头 一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍 可选：本公司的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
气体流量计	3个浮子流量计（精度度4%FS）安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体 一第路气体流量范围为10-100 cc/min 第二路气体流量范围为16-160 cc/min 第三路气体流量范围为25-250 cc/min 一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ，来监测混合气体的压力 四个不锈钢针阀安装在前面板上

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