1000度双炉体滑动管式炉：蒸发升华高温炉

1000度双炉体滑动管式炉：蒸发升华高温炉

该蒸发升华高温炉是一款小型的双炉体滑动管式炉，炉管为φ 50 X 1600mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器最高
温度可以达到1200C。两个炉体可在双向导柱滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速升降温的需求。同时可选配电动滑轨、质量流量计(MFC) 控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。